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■特長 ・混合ガスを含め98種のガスに対応。 ・±0.6% RD (16.7~100% FS) の正確度で10msの高速応答。 ・超微少流量 (0.5SCCM) から大流量 (5000SLPM) までラインナップ。
寸法 (流量レンジ 0.5SCCM)
F.S.流量時の圧力損失
接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM)
M5 (10-32) めねじ
型番
Mシリーズ (標準タイプ)シリーズ
マスフローメーター取扱企業
日本スターテクノ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 寸法 (流量レンジ 0.5SCCM) | 接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM) | F.S.流量時の圧力損失 |
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要見積もり | H98.98mm x W60.33mm x D26.67mm | M5 (10-32) めねじ | 6.89kPa (D) |
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