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■特長 ・混合ガスを含め98種のガスに対応。 ・±0.6% RD (16.7～100% FS) の正確度で10msの高速応答。 ・超微少流量 (0.5SCCM) から大流量 (5000SLPM) までラインナップ。
寸法 (流量レンジ 0.5SCCM)
F.S.流量時の圧力損失
接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM)
M5 (10-32) めねじ
型番
Mシリーズ (標準タイプ)シリーズ
マスフローメーター取扱企業
日本スターテクノ株式会社カテゴリ
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質量流量計の製品118点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 寸法 (流量レンジ 0.5SCCM) | 接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM) | F.S.流量時の圧力損失 |
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要見積もり | H98.98mm x W60.33mm x D26.67mm | M5 (10-32) めねじ | 6.89kPa (D) |
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使用用途がガス計測の製品
質量流量計をフィルターから探すことができます
使用用途
#化学薬品供給 #半導体製造 #医薬品製造 #食品添加計量 #燃料供給制御 #ガス計測 #液体計測 #プロセス制御 #研究開発 #水処理管理測定原理
コリオリ式 熱式 音響式 コリオリ式 熱式流路形状
直管型 並列二管型設置形態
インライン型 インサーション型 ポータブル型出力方式
アナログ出力型 パルス出力型 デジタル通信型 無線通信型最大測定誤差 %
0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.8 0.8 - 1.1周囲温度レンジ ℃
-60 - -40 -40 - -20 -20 - 0 0 - 60呼び口径レンジ mm
1 - 20 20 - 50 50 - 80 80 - 100測定物のプロセス温度 °C
-50 - 100 100 - 150 150 - 205
