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低価格マスフローコントローラー
流量(N2換算流量)
バルブタイプ
流量精度
アクチュエータ方式
耐圧力
1MPa(G)
外部リーク
1×10-7Pa･m3/secHe
取付姿勢
指定なし(自由)
シール部材質
フッ素ゴム
表面処理
機械加工仕上げ
接続継手
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
ガス種
搭載MFC/MFMに準ずる
流量設定
0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外)
流量設定・出力信号/表示
0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動)
電源、消費電流
AC100~240V：500mA
型番
C1020シリーズ
マスフローコントローラー取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | 対応ガス種 | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定(メーターの場合は対象外) | 流量出力 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 |
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要見積もり | 10,20SLM | 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) | NO：ノーマルオープンnewNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) | 5~100％F.S(メーターの場合は対象外) | ±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 | 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦6sec | 50~300KPa | 1MPa(G) | 5~50℃、85％RH以下 | 1×10-7Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | 15VDC：60mA、-15VDC：150mA | アナログ：0~5VDC | SUS316L、PTFE、フッ素ゴム | フッ素ゴム | サーマル(メーターの場合は対象外) | 機械加工仕上げ | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
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