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FGゴニオステージ (FGS) は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。 各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。
エンコーダー分解能
絶対精度 (誤差マップ提供可)
各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存)
負荷慣性容量
ステージプレート素材
アルミニウム-黒アルマイト
ベアリングタイプ
精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ
ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧
3m
MTBF (平均故障時間)
30,000Hr
RoHS
適合
真空対応オプション
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで
許容荷重-水平
2.7kg
許容荷重-垂直
0.4kg
可動慣性質量
0.102gr-m²
型番
FGS013S160取扱企業
株式会社工苑カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ステージプレート素材 | モータ | ベアリングタイプ | エンコーダ | ケーブル⾧ | MTBF (平均故障時間) | ステージ質量 | 可動質量 | RoHS | 真空対応オプション | 移動範囲 (mm) | エンコーダー分解能 | 双方向繰り返し精度 | 各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) | 最大速度 | 動的失速力 | 剛性 | 負荷慣性容量 | 許容荷重 | 静的保持力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR4モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 842g | 423g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
±10 |
標準 0.134arc sec. オプション 0.0134arc sec. |
標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec. |
ACモード0.128arc sec. UHRモード0.0064arc sec. DCモード0.000129arc sec. |
85deg/sec | 2,600Nm | 0.074 N m / μrad | 0.083kg.m² | 3kg | 2340Nm |
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