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FRロータリーステージ (FRS060) は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。 さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
エンコーダー分解能
絶対精度 (誤差マップ提供可)
各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存)
負荷慣性容量
ステージプレート素材
アルミニウム-黒アルマイト
ベアリングタイプ
精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ
ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧
3m
MTBF (平均故障時間)
30,000Hr
RoHS
適合
真空対応オプション
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで
許容荷重-水平
2.7kg
許容荷重-垂直
0.4kg
可動慣性質量
0.102gr-m²
型番
FRS060360取扱企業
株式会社工苑カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | ステージプレート素材 | モータ | ベアリングタイプ | エンコーダ | ケーブル⾧ | MTBF (平均故障時間) | ステージ質量 | 可動質量 | 可動慣性質量 | RoHS | 真空対応オプション | 移動範囲 (mm) | エンコーダー分解能 | 双方向繰り返し精度 | 絶対精度 (誤差マップ提供可) | 最大速度 | 真直度と平坦度 | 動的失速力 | 剛性 | 負荷慣性容量 | 許容荷重 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR2モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 581g | 268g | 0.102gr-m² | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
nx 360 |
標準 5arc sec. オプション 0.5arc sec. |
標準 50arc sec. オプション 5arc sec. |
標準 10arc sec. オプション 5arc sec. |
8.3rad sec. | ±5μm | 0.96Nm | 0.0032 (Nm / μrad) | 0.0035kg.m² | 2kg |
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