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FBシリーズの製品ラインは、単軸および多軸アプリケーションで使用できる標準のモジュラーリニアステージのファミリーです。ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。エンコーダの分解能は、さまざまな性能基準を達成するために変更できます。必要な力/加速要件を満たすために、断面ごとに異なるサイズのモーターがあります。
エンコーダー分解能
絶対精度 (誤差マップ提供可)
各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存)
負荷慣性容量
ステージプレート素材
アルミニウム-黒アルマイト
ベアリングタイプ
精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ
ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧
3m
MTBF (平均故障時間)
30,000Hr
RoHS
適合
真空対応オプション
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで
許容荷重-水平
2.7kg
許容荷重-垂直
0.4kg
可動慣性質量
0.102gr-m²
型番
FBS100100取扱企業
株式会社工苑カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ステージプレート素材 | モータ | ベアリングタイプ | エンコーダ | ケーブル⾧ | MTBF (平均故障時間) | ステージ質量 | 可動質量 | RoHS | 真空対応オプション | 移動範囲 (mm) | エンコーダー分解能 | 双方向繰り返し精度 | 絶対精度 (誤差マップ提供可) | 各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) | 最大速度 | 真直度と平坦度 | ピッチ＆ヨー | 許容荷重-水平 | 許容荷重-垂直 | 動的失速力 | 剛性 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR8モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 1,811g | 710g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
100mm |
標準 100nm オプション 10nm |
標準 1μm オプション 100nm |
標準 10μm オプション 7μm |
ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm |
最大速度250mm /秒 | ±4μm | ±50μrad | 2.7kg | 0.4kg | 32N | 3N / μm |
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