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使用用途
有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄
対象ウエハサイズ
4インチ、6インチ、8インチ
電源
200V、3層、50/60Hz
処理液
有機系剥離液、純水
薬液供給
薬液循環回収
レシピ数
40
ステップ数
50
型番
Spin/Dip®枚葉処理装置取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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半導体洗浄装置の製品41点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 使用用途 | 対象ウエハサイズ | 電源 | 処理液 | 薬液供給 | レシピ数 | ステップ数 |
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要見積もり | 有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄 | 4インチ、6インチ、8インチ | 200V、3層、50/60Hz | 有機系剥離液、純水 | 薬液循環回収 | 40 | 50 |
半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます
対応サイズ インチ
0 - 4 4 - 8 8 - 12装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 500電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250