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ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 PM6-ハイソル株式会社

PM6 | ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 PM6
ハイソル株式会社

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電源

110V, 50/60Hz

冶具タイプ

PP5 (x1) , PP6 (x1)

プレート回転

5–100rpm

プレートサイズ

300mm

高さ

915mm (排気ポート含むと965mm)

奥行

720mm

幅

802mm

プレート平坦度モニター

0.1um分解能

この製品について

PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポリッシング) も可能ですので、例えばGaAsやInPといった化合物半導体の精密研磨にも最適です。

■高精度な研磨を実現する超精密研磨治具

熟練した技術者が手加工で製造した特殊構造の治具は、独自スプリング機構により、サンプル全面に荷重が均等に掛かります。 例えば、ピストンからオスとメスに切り離した治具を、他の治具に取り付けようとしても、治具は技術者によって「対」で精密加工されておりますので、同じモデルであっても取り付けることが出来ません。それ程までに精密加工された治具が、高精度な研磨を実現します。

■その他 特長

・荷重可変：200gから6.7kg (冶具の種類により異なる) ・角度調整：±3° (Dスタイル) 、±1.5° (GTスタイル) ・研磨量のデジタル表示 (1umオーダー)

■自動装置停止機能付き精密研磨治具

装置と通信し、設定された研磨量に達すると装置を自動停止することが出来ますので、無人研磨が可能になります。また、突然の装置停止の際にも、研磨のデータは保存されます。

■タッチパネルで容易にコントロール

タッチパネル操作で下記のパラメータを設定します。 ・研磨プレート及び治具ローラーの回転数 ・研磨時間 ・研磨量 ・治具アームのスイープ (スイープ幅、速度) ・スラリーの滴下量/研磨液の切替 ・ラッピングプレートのターゲット平坦度 (オプション) ・プロセスレシピ設定 ・研磨レートのチャート表示

  • 型番

    PM6

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ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 PM6 PM6の性能表

商品画像 価格 (税抜) 電源 冶具タイプ プレート回転 プレートサイズ 高さ 奥行 幅 プレート平坦度モニター
ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 PM6-品番-PM6 要見積もり 110V, 50/60Hz PP5 (x1) , PP6 (x1) 5–100rpm 300mm 915mm (排気ポート含むと965mm) 720mm 802mm 0.1um分解能

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