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電動XYステージ
駆動範囲: 最大150mm×150mm、再現性2μm
電動Zステージ
Z駆動範囲25mm、分解能0.1μm、再現性<1μm
XYスキャナレンジ
100µm×100µm
XYスキャナ分解能
0.095nm (20ビット位置制御)
ADC
18チャンネル、4高速 ADCチャンネル (64MSPS) 、24ビット ADC (X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー)
DAC
17チャンネル、2高速 DAC チャンネル (64 MSPS) 、20ビット DAC (X、Y及びZスキャナ ポジションセンサ)
床振動ノイズ
<0.5 μm/s (10Hz~200Hzw/アクティブ防振台システム)
設備条件 室温 (待機温度)
10℃~40℃
設備条件 室温 (稼働中)
18℃~24℃
設備条件 湿度
30%to60% (not condensing)
アクースティック エンクロージャー
880 (w) ×980 (d) ×1,460 (h) 、620kg approx. (incl. basic NX-HDM System)
制御キャビネット
600 (w) ×900 (d) ×1,600 (h) 、170kg approx. (incl. controllers)
電動フォーカス ステージ
直上光学、Z駆動範囲15mm
COGNEXパターン認識
パターンアライメント分解能: 1/4ピクセル
最大スキャンサイズ
4,096x4,096ピクセル
音響ノイズ
65dB以下、>20dB低減 (アクースティックエンクロージャーにより)
総合消費電力
2KW (公称値)
試料の厚さ許容範囲
最大20mm
Zスキャナレンジ
15µm
排気系
真空 : -60kPa
グラウド抵抗値
100オーム以下
全Zスキャンレンジ
Zクリアランス<2nm
Zスキャナ分解能
0.01nm
床振動レベル
VC-D基準 (6μm/sec)
電源
100/120V/ 208~240V、単相、15A (最大)
システムフロアスペース
1,720mm (幅) ×920mm (奥行)
天井高
2,000mm以上
オペレータ作業スペース
2,400mm (幅) ×2,450mm (奥行) ,最小
型番
NX-HDM取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社カテゴリ
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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)の製品58点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動Zステージ | XYスキャナレンジ | XYスキャナ分解能 | ADC | DAC | 床振動ノイズ | 設備条件 室温 (待機温度) | 設備条件 室温 (稼働中) | 設備条件 湿度 | アクースティック エンクロージャー | 制御キャビネット | 電動フォーカス ステージ | COGNEXパターン認識 | 最大スキャンサイズ | 音響ノイズ | 総合消費電力 | 試料の厚さ許容範囲 | Zスキャナレンジ | 排気系 | グラウド抵抗値 | 全Zスキャンレンジ | Zスキャナ分解能 | 床振動レベル | 電源 | システムフロアスペース | 天井高 | オペレータ作業スペース |
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要見積もり | 駆動範囲: 最大150mm×150mm、再現性2μm | Z駆動範囲25mm、分解能0.1μm、再現性<1μm | 100µm×100µm | 0.095nm (20ビット位置制御) | 18チャンネル、4高速 ADCチャンネル (64MSPS) 、24ビット ADC (X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー) | 17チャンネル、2高速 DAC チャンネル (64 MSPS) 、20ビット DAC (X、Y及びZスキャナ ポジションセンサ) | <0.5 μm/s (10Hz~200Hzw/アクティブ防振台システム) | 10℃~40℃ | 18℃~24℃ | 30%to60% (not condensing) | 880 (w) ×980 (d) ×1,460 (h) 、620kg approx. (incl. basic NX-HDM System) | 600 (w) ×900 (d) ×1,600 (h) 、170kg approx. (incl. controllers) | 直上光学、Z駆動範囲15mm | パターンアライメント分解能: 1/4ピクセル | 4,096x4,096ピクセル | 65dB以下、>20dB低減 (アクースティックエンクロージャーにより) | 2KW (公称値) | 最大20mm | 15µm | 真空 : -60kPa | 100オーム以下 | Zクリアランス<2nm | 0.01nm | VC-D基準 (6μm/sec) | 100/120V/ 208~240V、単相、15A (最大) | 1,720mm (幅) ×920mm (奥行) | 2,000mm以上 | 2,400mm (幅) ×2,450mm (奥行) ,最小 |
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)をフィルターから探すことができます
XYスキャナレンジ µm
10 - 70 70 - 100 100 - 120Zスキャナレンジ μm
1 - 5 5 - 15 15 - 30分解能 nm
0 - 1 1 - 100真空度 nPa
0 - 100 100 - 50,000到達温度 K
0 - 1 1 - 6 6 - 101振動ノイズ μm/s
0 - 1 1 - 7コンピュータソフト
C# LabView MatLab Visual Basic Windows 7以降 Windowsスクリプトインターフェイス データ収集・解析ソフト 観察用カメラ 装置制御XYステージ駆動範囲 mm
-12 - 0 0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400Zステージ駆動範囲 mm
-12 - 0 0 - 20 20 - 200返答率
100.0%
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![走査型プローブ顕微鏡 (SPM) AFM-IR 装置 AFM-IR PiFM ナノスケール赤外分光イメージング装置[光誘起力顕微鏡]-株式会社日本レーザー](https://metoree.s3.ap-northeast-1.amazonaws.com/img/products-new/30024292024050560.png)
