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返答率
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返答時間
54.0時間
マスフロー フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10slm 20 and 50 and 100 sccm
マスフロー 精度
0.08% FS or 8% SP
マスフロー 最高使用圧力
5bar
マスフロー キャリブレーション
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
マスフロー 流体コネクタポート
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
供給電圧
14 - 26V
平均供給電流
50,000uA
最大供給電流
320,000uA
インターフェイス
RS485
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91mm3
型番
SFC5460取扱企業
センシリオン株式会社カテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | マスフロー フルスケール流量 | マスフロー 精度 | マスフロー 最高使用圧力 | マスフロー キャリブレーション | マスフロー 流体コネクタポート | 供給電圧 | 平均供給電流 | 最大供給電流 | インターフェイス | サイズ (LxWxH) |
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要見積もり |
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10slm 20 and 50 and 100 sccm |
0.08% FS or 8% SP | 5bar | Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow | Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount | 14 - 26V | 50,000uA | 320,000uA | RS485 | 101.1 x 24.4 x 91mm3 |
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制御方式が閉ループ制御型の製品
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
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返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラ
FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
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マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
