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81.3時間
マスフロー フルスケール流量
0.05slm 50sccm
マスフロー 精度
0.2% FS or 2% SP
マスフロー 最高使用圧力
10bar
マスフロー キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2Oflow
マスフロー 流体コネクタポート
Legris
供給電圧
14 - 26.4V
平均供給電流
35,000uA
最大供給電流
50,000uA
インターフェイス
デバイスネット,RS485
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5mm3
型番
SFM5500-50sccm取扱企業
センシリオン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | マスフロー フルスケール流量 | マスフロー 精度 | マスフロー 最高使用圧力 | マスフロー キャリブレーション | マスフロー 流体コネクタポート | 供給電圧 | 平均供給電流 | 最大供給電流 | インターフェイス | サイズ (LxWxH) |
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要見積もり |
0.05slm 50sccm |
0.2% FS or 2% SP | 10bar | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2Oflow | Legris | 14 - 26.4V | 35,000uA | 50,000uA | デバイスネット,RS485 | 105 x 38.5 x 90.5mm3 |
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