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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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最大角速度 (θZ、無負荷時)

センサー信号周期/U

公称電流、RMS

ピークトルク (θZ)

インダクタンス相間

逆起電力、相間、回転

極対の数

X方向の許容押付け力

Y方向の許容押付け力

Z方向の許容押付け力

許容トルク (θx)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

θZ

回転範囲θZ

360°

θZの動きによるXの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるYの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるZの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるθXの回転クロストーク

±20μrad

θZの動きによるθYの回転クロストーク

±20μrad

θZでの位置決め精度、校正済み

±10μrad

θZの双方向繰返し精度

5μrad

基準スイッチ

1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

ドライブタイプ

鉄筋レス三相トルクモーター

ピーク電圧

80V

ピーク電流、RMS

13.8A

この製品について

■特徴

・効率的なダイナミックパフォーマンスを実現するダイレクトドライブ ・モーションプラットフォームの直径は85mm、110mm、210mm ・偏心率と平面度<1µm ・どの向きでも使用可能 ・ロープロファイル

■製品の概要

・V-62xシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、精度、高剛性、長寿命、使いやすさを考慮して設計されており、あらゆる方向に取り付けることができます。 ・V-62xステージは、移動精度、平面度、ぐらつきに関して優れたパフォーマンスを提供します。 ・超高精度深溝玉軸受は、出荷前に予荷重および潤滑が施されているため、回転ステージの寿命全体にわたってメンテナンスが不要です。

■ダイレクトドライブトルクモーター

・トルクモーターは電磁ダイレクトドライブです。 ・ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を摩擦なく直接モーションプラットフォームに伝達します。 ・ドライブは高速および加速度に達します。

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチをオンにするときに基準を設定する必要がなく、動作中の効率と安全性が向上します。

■付属品とオプション

・エンコーダの種類 ・単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボドライブ ・多軸アセンブリ

■応用分野

サンプル検査。精密なマイクロアセンブリ。研究。バイオテクノロジー。半導体の試験・検査を行っております。測定技術。自動化技術。デバイスの組み立て。レーザー微細加工。センサーの校正とテスト。

  • 型番

    V-623.B100

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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-623.B100の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの動きによるXの線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZでの位置決め精度、校正済み θZの双方向繰返し精度 統合センサー センサー信号 センサー解像度、回転 ドライブタイプ ピーク電圧 公称電流、RMS ピーク電流、RMS 駆動トルク (θZ) ピークトルク (θZ) トルク定数 抵抗相間 インダクタンス相間 逆起電力、相間、回転 極対の数 X方向の許容押付け力 Y方向の許容押付け力 Z方向の許容押付け力 許容トルク (θx)
V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-623.B100 要見積もり θZ 360° 1,000分^-1 ±2μm ±2μm ±2μm ±20μrad ±20μrad ±10μrad 5μrad 絶対角度測定システム BiSS-C、32ビット 0.0015μrad 鉄筋レス三相トルクモーター 80V 4.6A 13.8A 1.4N・m 2.9N・m 0.3N・m/A 2.76Ω 5.2mH 25V/kRPM 20 75N 75N 150N 10N・m

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回転ステージをフィルターから探すことができます

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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