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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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最大角速度 (θZ、無負荷時)

センサー信号周期/U

公称電流、RMS

ピークトルク (θZ)

インダクタンス相間

逆起電力、相間、回転

極対の数

X方向の許容押付け力

Y方向の許容押付け力

Z方向の許容押付け力

許容トルク (θx)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

θZ

回転範囲θZ

360°

θZの動きによるXの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるYの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるZの線形クロストーク

±2μm

θZの動きによるθXの回転クロストーク

±20μrad

θZの動きによるθYの回転クロストーク

±20μrad

θZでの位置決め精度、校正済み

±10μrad

θZの双方向繰返し精度

5μrad

基準スイッチ

1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

ドライブタイプ

鉄筋レス三相トルクモーター

ピーク電圧

80V

ピーク電流、RMS

13.8A

この製品について

■特徴

・効率的なダイナミックパフォーマンスを実現するダイレクトドライブ ・モーションプラットフォームの直径は85mm、110mm、210mm ・偏心率と平面度<1µm ・どの向きでも使用可能 ・ロープロファイル

■製品の概要

・V-62xシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、精度、高剛性、長寿命、使いやすさを考慮して設計されており、あらゆる方向に取り付けることができます。 ・V-62xステージは、移動精度、平面度、ぐらつきに関して優れたパフォーマンスを提供します。 ・超高精度深溝玉軸受は、出荷前に予荷重および潤滑が施されているため、回転ステージの寿命全体にわたってメンテナンスが不要です。

■ダイレクトドライブトルクモーター

・トルクモーターは電磁ダイレクトドライブです。 ・ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を摩擦なく直接モーションプラットフォームに伝達します。 ・ドライブは高速および加速度に達します。

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチをオンにするときに基準を設定する必要がなく、動作中の効率と安全性が向上します。

■付属品とオプション

・エンコーダの種類 ・単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボドライブ ・多軸アセンブリ

■応用分野

サンプル検査。精密なマイクロアセンブリ。研究。バイオテクノロジー。半導体の試験・検査を行っております。測定技術。自動化技術。デバイスの組み立て。レーザー微細加工。センサーの校正とテスト。

  • 型番

    V-625.A100

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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-625.A100の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの動きによるXの線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZでの位置決め精度、校正済み θZの双方向繰返し精度 基準スイッチ 統合センサー センサー信号 センサー信号周期/U センサー解像度、回転 ドライブタイプ ピーク電圧 公称電流、RMS ピーク電流、RMS 駆動トルク (θZ) ピークトルク (θZ) トルク定数 抵抗相間 インダクタンス相間 逆起電力、相間、回転 極対の数 X方向の許容押付け力 Y方向の許容押付け力 Z方向の許容押付け力 許容トルク (θx)
V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-625.A100 要見積もり θZ 360° 200分^-1 ±2μm ±2μm ±2μm ±20μrad ±20μrad ±10μrad 5μrad 1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク インクリメンタル角度測定システム Sin/cos、1Vピーク-ピーク 31,488 0.049μrad 鉄筋レス三相トルクモーター 80V 4.3A 13.8A 4.1N・m 9.3N・m 0.96N・m/A 4.94Ω 9.8mH 82V/kRPM 36 100N 100N 400N 20N・m

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回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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23.6時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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