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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

θZ

回転範囲θZ

360°

最大角速度 (θZ、無負荷時)

20°/秒

θZの動きによるXの線形クロストーク

±2.5μm

θZの動きによるYの線形クロストーク

±2.5μm

θZの動きによるZの線形クロストーク

±1μm

θZの動きによるθXの回転クロストーク

±15μrad

θZの動きによるθYの回転クロストーク

±15μrad

θZにおける一方向の繰り返し精度

20μrad

θZの双方向繰返し精度

±175μrad

θZの最小増分運動

8.72μrad

基準スイッチ

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

ドライブタイプ

2相ステッピングモーター

モーターの分解能

200フルステップ/回転

公称電圧

24V

ピーク電圧

48V

公称電流、RMS

1.2A

抵抗相間

3.3Ω

インダクタンス相間

2.8mH

ベアリングの種類

ボールベアリング

ウォームギヤ減速機

90:1

θZで移動した質量、無負荷

1,100g

慣性モーメント (θZ、無負荷)

770kg・mm²

X方向の許容押付け力

50N

Y方向の許容押付け力

50N

使用温度範囲

5~40℃

推奨コントローラー/ドライバー

C-663.12 C-885とC-663.12C885 ACSモジュラーコントローラー

ケーブルの長さ

2m

この製品について

■特徴

・10 -9hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・非常に高い解像度 ・ステッピングモーター ・方向感知基準スイッチ ・多軸セットアップが可能

■リファレンスクラスの回転ステージ

・遊びの少ない予圧ウォームギヤの採用により高精度の位置決めが可能です。 ・高い移動精度を実現するプリロードされたピボットベアリング。 ・35mmØのクリアな開口部。 ・両回転方向の無制限の移動範囲。 ・リファレンススイッチ。

■特に真空環境での使用向けにアウトガスを低減

・最も注目すべき点は、ガイドとスピンドルの潤滑に、ガス放出が特に少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。 ・PI V6真空クラスのこの変更およびその他の変更により、このポジショナーは最大10-6hPaまで使用できます。

■高真空用途向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊な部品が使用されます。また、表面はノンコートアルミニウム製、スピンドルとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス、つまり最大10-7 hPa に達します。

■超高真空における特殊要求に最高の品質を提供

・この真空クラスでは、最大10-9hPaのPI V9真空クラスを達成するために、超高真空に適したコンポーネントのおかげで製品が細部にわたって最適化されています。 ・とりわけ、この目的には選択された種類のプラスチックのみが使用され、ベークアウト温度は測定システムありで120℃、測定システムなしでそれぞれ150℃が適用されます。

■オプション:移動精度・位置決め精度測定

ご要望に応じて、ぐらつき、軸方向、および半径方向のクリープに関する個別の測定ログをご利用いただけます。

■応用分野

真空チャンバー・研究・ビームライン機器・顕微鏡検査・電子機器の組み立てと検査

  • 型番

    L-611.991300V7

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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ L-611.991300V7の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの動きによるXの線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZにおける一方向の繰り返し精度 θZの双方向繰返し精度 θZの最小増分運動 基準スイッチ ドライブタイプ モーターの分解能 公称電圧 ピーク電圧 公称電流、RMS 抵抗相間 インダクタンス相間 ベアリングの種類 ウォームギヤ減速機 θZで移動した質量、無負荷 慣性モーメント (θZ、無負荷) X方向の許容押付け力 Y方向の許容押付け力 使用温度範囲 コネクタ 推奨コントローラー/ドライバー 真空クラス ケーブルの長さ
高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-品番-L-611.991300V7 要見積もり θZ 360° 20°/秒 ±2.5μm ±2.5μm ±1μm ±15μrad ±15μrad 20μrad ±175μrad 8.72μrad ホール効果、N/C接点、5V、NPN 2相ステッピングモーター 200フルステップ/回転 24V 48V 1.2A 3.3Ω 2.8mH ボールベアリング 90:1 1,100g 770kg・mm² 50N 50N 5~40℃ D-sub15極 (メス) C-663.12
C-885とC-663.12C885
ACSモジュラーコントローラー
10^-7hPa 2m

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回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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