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A-62x エアベアリング回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X の線形クロストークと θZ の運動

Yの線形クロストークとθZの運動

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θX の回転クロストークと θZ の運動

θYの回転クロストークとθZの運動

センサー信号周期 / U

公称電流、実効値

ピーク電流、実効値

駆動トルクは反時計回りにθZで

トルクを時計回りにθZで駆動

θZで反時計回りのピークトルク

時計回りのピークトルク (θZ)

インダクタンス相相

逆起電力, 相相, 回転

極ペアの数

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

θZ

θZ単位の回転範囲

360 °

θZでの双方向再現性

± 4 µrad

位置決め精度 (θZ単位、校正済み)

± 8 µrad

基準スイッチ

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

ドライブの種類

アイロンレス3相トルク モーター

公称電圧

48 V

ピーク電圧

80 V

この製品について

摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、使いやすさを考慮して設計されており、任意の方向に取り付けることができます。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成や等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。 RMステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。摩擦がなく、メンテナンスや潤滑を必要としないため、クリーンルームでの使用に最適です。

■特徴

・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで ・4,170 Nまでの負荷容量 ・離心率と平坦度 < 200 nm ・垂直または水平に取り付けることができます 概要

■3相トルク モーター

ブラシレス/スロットレス/低コギングトルク/

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチを入れるときに参照する必要がなく、操作中の効率と安全性が向上します。

■アクセサリーとオプション

エンコーダー/オプションのチップ/チルトプラットフォーム/カスタム取り付けフランジ/真空フィードスルー/スリップリング/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

光学アライメント、計測、検査システム、キャリブレーション、スキャン。 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    A-623.025A1

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A-62x エアベアリング回転ステージ A-623.025A1の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 θZ単位の回転範囲 無負荷時の最大角速度 (θZ) X の線形クロストークと θZ の運動 Yの線形クロストークとθZの運動 Z の線形クロストークと θZ の運動 θX の回転クロストークと θZ の運動 θYの回転クロストークとθZの運動 統合センサー θZでの双方向再現性 位置決め精度 (θZ単位、校正済み) センサー信号 センサー解像度 センサー信号周期 / U センサー分解能、回転式 基準スイッチ ドライブの種類 公称電圧 ピーク電圧 公称電流、実効値 ピーク電流、実効値 駆動トルクは反時計回りにθZで トルクを時計回りにθZで駆動 θZで反時計回りのピークトルク 時計回りのピークトルク (θZ) トルク定数 抵抗相相 インダクタンス相相 逆起電力, 相相, 回転 極ペアの数
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.025A1 要見積もり θZ 360 ° 1,200 min⁻¹ ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.037 µm ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.024 nm 15,744 0.024 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.1 A 9.3 A 0.7 N·m 0.7 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 0.26 N·m/A 4.2 Ω 0.4 mH 31.8 V/kRPM 14

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回転ステージをフィルターから探すことができます

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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