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返答率
100.0%
返答時間
20.2時間
駆動軸数
6
粗雑測位 駆動軸
X、Y、Z
粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲
15, 15, 15 mm
粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション
0.05 µm
粗雑測位 設計分解能
0.0069 µm
粗雑測位 標準一方向繰り返し性
0.25 µm
粗雑測位 標準バックラッシュ (X、Y、Z)
3 µm
粗雑測位 最大速度
1.5 mm/s
粗雑測位 センサータイプ
ロータリーエンコーダ
粗雑測位 ガイド
ボールガイド
粗雑測位 ドライブの種類
DCギヤモーター
精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時)
100 µm
精密測位 標準分解能 (オープンループ時)
0.2 nm
精密測位 標準分解能 (クローズドループ時)
1 nm
精密測位 標準直線性誤差 (トラベルレンジ全体)
0.1 %
精密測位 標準繰り返し性 (双方向)
<10 nm
精密測位 センサータイプ
SGS
精密測位 駆動タイプ
PICMA
負荷容量
6N
動作温度範囲、メカニクス
-20~65 ℃
動作温度範囲、C-884.4DCコントローラー
5~50 ℃
動作温度範囲、E-727.ASコントローラー
5~40 ℃
質量
1.55 kg
ケーブル長さ
3 m
型番
F-131.3SD1取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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リニアステージの製品483点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸数 | 粗雑測位 駆動軸 | 粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲 | 粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション | 粗雑測位 設計分解能 | 粗雑測位 標準一方向繰り返し性 | 粗雑測位 標準バックラッシュ (X、Y、Z) | 粗雑測位 最大速度 | 粗雑測位 センサータイプ | 粗雑測位 ガイド | 粗雑測位 ドライブの種類 | 精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | 精密測位 標準分解能 (オープンループ時) | 精密測位 標準分解能 (クローズドループ時) | 精密測位 標準直線性誤差 (トラベルレンジ全体) | 精密測位 標準繰り返し性 (双方向) | 精密測位 センサータイプ | 精密測位 駆動タイプ | 負荷容量 | 動作温度範囲、メカニクス | 動作温度範囲、C-884.4DCコントローラー | 動作温度範囲、E-727.ASコントローラー | 質量 | ケーブル長さ |
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要見積もり | 6 | X、Y、Z | 15, 15, 15 mm | 0.05 µm | 0.0069 µm | 0.25 µm | 3 µm | 1.5 mm/s | ロータリーエンコーダ | ボールガイド | DCギヤモーター | 100 µm | 0.2 nm | 1 nm | 0.1 % | <10 nm | SGS | PICMA | 6N | -20~65 ℃ | 5~50 ℃ | 5~40 ℃ | 1.55 kg | 3 m |
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使用用途
#半導体製造 #光学検査 #精密加工 #測定装置 #自動組立 #ロボット制御 #医療機器開発 #研究開発 #マイクロマニピュレーション #電子部品検査 #ナノテクノロジー駆動方式
モータ駆動型 空気圧駆動型種類
精密 高速 ロータリー特徴
ミニチュア型 耐荷重型移動範囲 mm
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30耐荷重 N
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500最大速度 mm/秒
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000繰返し位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10駆動ネジピッチ mm
0 - 0.1 0.1 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 1
