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VT-80V6 真空に適したリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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返答時間

22.3時間

X単位の移動範囲 (mm)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm)

平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (µm)

ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)

質量をXに移動、無負荷 (g)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X

最大速度 (X) (無負荷) (mm/s)

10

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)

±150

Xにおける一方向の再現性 (µm)

0.4

X単位の双方向再現性 (µm)

±10

X単位の最小増分モーション (µm)

0.2

リミットスイッチ

機械的、N/C接点、30Vまで、NPN

モーター分解能 (Full steps/rev.)

200

公称電圧 (V)

24

ピーク電圧 (V)

48

Xの負の運動方向への駆動力 (N)

40

Xの正の運動方向への駆動力 (N)

40

ガイド

再循環ボールベアリングガイド

駆動ネジ式

メトリック親ねじ

駆動ネジピッチ (mm)

1

Xの保持力、パッシブ (N)

40

Y単位の許容押し力 (N)

30

許容押し力 (Z) (N)

50

許容トルク (θx) (N·m)

2.5

許容トルク (θY) (N·m)

5

許容トルク (θZ) (N·m)

2.5

材料

アルミニウム、陽極酸化

コネクタ

HD D-sub 15ピン (m)

この製品について

製品概要

■標準クラスのリニアステージ

ボールベアリングガイドと精密親ねじを再循環させ、スムーズで均一な送りを実現します。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。コンパクトなXYの組み合わせ。2つの機械式リミットスイッチ。

■再循環ボールベアリングガイド

慎重に組み立てられた場合、再循環ボールベアリングガイドは、高負荷容量、寿命、メンテナンスフリーの操作、およびガイド精度の有益な組み合わせによって区別されます。ステージの可動部分は、2つのガイドレール上を走行する4つのプリロードされた再循環ボールベアリングユニットによって支えられています。各ベアリングユニットは、2列の循環ボールベアリングで構成されています。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドと駆動スクリューの潤滑には、特にガス放出の少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PI V6真空クラスは、これと他の改良により、10^-6hPaまで使用できる。

■ドライブ

低速度・高分解能でも高トルクを実現する2相ステッピングモータ

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・10^-6hPaまでの真空に対応 ・移動距離は25〜300mmです ・ロープロファイル ・最大速度10mm/秒 ・5kgまでの耐荷重

  • 型番

    6230V66000

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VT-80V6 真空に適したリニアステージ 6230V66000の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) 最大速度 (X) (無負荷) (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (µm) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) Xにおける一方向の再現性 (µm) X単位の双方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (µm) リミットスイッチ ドライブの種類 モーター分解能 (Full steps/rev.) 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) Xの負の運動方向への駆動力 (N) Xの正の運動方向への駆動力 (N) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) Xの保持力、パッシブ (N) 質量をXに移動、無負荷 (g) Y単位の許容押し力 (N) 許容押し力 (Z) (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 許容トルク (θZ) (N·m) 全体の質量 (g) 材料 コネクタ
VT-80V6 真空に適したリニアステージ-品番-6230V66000 要見積もり X 200 10 ±20 ±20 ±170 ±150 0.4 ±10 0.2 機械的、N/C接点、30Vまで、NPN 2相ステッピングモーター 200 24 48 40 40 再循環ボールベアリングガイド メトリック親ねじ 1 40 180 30 50 2.5 5 2.5 950 アルミニウム、陽極酸化 HD D-sub 15ピン (m)

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移動範囲 mm

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30

耐荷重 N

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

最大速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

繰返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10

駆動ネジピッチ mm

0 - 0.1 0.1 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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