V-508.9 | V-508 高精度・低背リニアモータステージ
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移動範囲 (mm)

170

250

ピッチ/ヨー (µrad)

±100

±200

±300

真直度/平坦度 (µm)

±4

±10

±20

速度 (m/s)

V-508.2x1:0.6
V-508.2x2:0.7

V-508.6x1:0.6
V-508.6x2:0.7

V-508.9x1:0.6
V-508.9x2:0.7

移動質量 (g)

V-508.2x1:0.45
V-508.2x2:0.35

V-508.6x1:0.75
V-508.6x2:0.6

V-508.9x1:1.01
V-508.9x2:0.79

全体の質量 (g)

V-508.2x1:1.1
V-508.2x2:1.0

V-508.6x1:1.7
V-508.6x2:1.6

V-508.9x1:2.3
V-508.9x2:2.1

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

加速度 (m/s²)

Z単位の耐荷重 (N)

100

ガイドの種類

アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド

統合センサー

V-508.x3:インクリメンタルリニアエンコーダ V-508.x5:PIOneインクリメンタルリニアエンコーダ V-508.xB:アブソリュートエンコーダ

センサー信号

V-508.x3:Sin/cos、1Vピークピーク、80μmの信号周期 V-508.x5:Sin/cos、1Vピークピーク、2μmの信号周期 V-508.xB:BiSS-C

センサー解像度 (nm)

V-508.x3:10 (補間) V-508.x5:0.2 (補間) V-508.xB:78

最小インクリメンタルモーション (nm)

V-508.x3:20 V-508.x5:1 V-508.xB:160

双方向再現性 (µm)

V-508.x3:±0.1 V-508.x5:±0.05 V-508.xB:±0.15

ドライブの種類

V-508.xx1:リニアモーター、アイロンレス、三相 V-508.xx2:リニアモータ、鉄心、三相

中間回路電圧、実効値 (VDC)

V-508.xx1:48 V-508.xx2:48

ピーク力 (N)

V-508.xx1:12 V-508.xx2:14

公称力 (N)

V-508.xx1:3 V-508.xx2:5

ピーク電流、実効値 (A)

V-508.xx1:3.2 V-508.xx2:3.2

公称電流、実効値 (A)

V-508.xx1:0.7 V-508.xx2:1.1

力定数、実効値 (N/A)

V-508.xx1:4.28 V-508.xx2:4.81

抵抗位相 (Ω)

V-508.xx1:5.92 V-508.xx2:2.46

インダクタンス位相 (mH)

V-508.xx1:1.26 V-508.xx2:1.94

逆起電力位相 (V·s/m)

V-508.xx1:5.36 V-508.xx2:3.02

ポールピッチN-N (mm)

V-508.xx1:20 V-508.xx2:18

ポジショナーコンポーネントの許容温度 (℃)

V-508.xx1:80 V-508.xx2:80

使用温度範囲 (℃)

10~50

湿度 (%)

20~90相対、結露しないこと

材料

アルミニウム、ブルー/ブラックアルマイト

全3種類の型番を一覧でみる

この製品について

■製品の説明・リニアモータと薄型設計を備えたコンパクトなリニア並進ステージ
・摩擦のないダイレクトドライブリニアモータ – 非常に高い分解能
・サブnm感度の直接計測エンコーダ
・高負荷とスムーズな動きのための精密クロスローラーガイド
・24/7パフォーマンスの自動化
・多軸ステージの組み合わせ:XYおよびXYZ
・最高の性能を実現する閉ループモーションコントローラ

■応用分野V-508高精度リニアトランスレーションステージは、測定技術、フォトニクスアライメント、半導体スキャン/ウェーハ検査、光学およびセンサーキャリブレーション、レーザー刻印および処理、マイクロアセンブリ、医療工学、および高精度の動きと24/7の信頼性が要求されるその他のアプリケーション。

コンパクトなサイズとナノメートルの分解能により、V-508システムは遅延材段やその他の安定性の高いナノポジショニングアプリケーションとしても優れた性能を発揮します。

■特徴・直線移動範囲80、170、および250mm
・1nmまでの最小増分直線運動
・高精度位置エンコーダオプション:インクリメンタルおよびアブソリュート測定
・コンパクトサイズ:断面80mm×25mm
・高負荷容量と高い幾何学的性能のためのクロスローラーガイド
・鉄心と鉄レス3相リニアモーターの選択

■その他・速度:V-508.x5:C-0との組み合わせ時最大2.891m/s
・仕様は室温 (22℃±3℃) に適用され、仕様はこの範囲外になる場合があります。

型番
V-508.9

シリーズ
V-508 高精度・低背リニアモータステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

リニアステージ

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V-508 高精度・低背リニアモータステージ V-508.9の性能表

商品画像	価格 (税抜)	アクティブ軸	移動範囲 (mm)	ピッチ/ヨー (µrad)	真直度/平坦度 (µm)	速度 (m/s)	加速度 (m/s²)	Z単位の耐荷重 (N)	移動質量 (g)	全体の質量 (g)	ガイドの種類	統合センサー	センサー信号	センサー解像度 (nm)	最小インクリメンタルモーション (nm)	双方向再現性 (µm)	ドライブの種類	中間回路電圧、実効値 (VDC)	ピーク力 (N)	公称力 (N)	ピーク電流、実効値 (A)	公称電流、実効値 (A)	力定数、実効値 (N/A)	抵抗位相 (Ω)	インダクタンス位相 (mH)	逆起電力位相 (V·s/m)	ポールピッチN-N (mm)	ポジショナーコンポーネントの許容温度 (℃)	使用温度範囲 (℃)	湿度 (%)	材料
	要見積もり	X	250	±300	±20	V-508.9x1:0.6 V-508.9x2:0.7	5	100	V-508.9x1:1.01 V-508.9x2:0.79	V-508.9x1:2.3 V-508.9x2:2.1	アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド	V-508.x3:インクリメンタルリニアエンコーダ V-508.x5:PIOneインクリメンタルリニアエンコーダ V-508.xB:アブソリュートエンコーダ	V-508.x3:Sin/cos、1Vピークピーク、80μmの信号周期 V-508.x5:Sin/cos、1Vピークピーク、2μmの信号周期 V-508.xB:BiSS-C	V-508.x3:10 (補間) V-508.x5:0.2 (補間) V-508.xB:78	V-508.x3:20 V-508.x5:1 V-508.xB:160	V-508.x3:±0.1 V-508.x5:±0.05 V-508.xB:±0.15	V-508.xx1:リニアモーター、アイロンレス、三相 V-508.xx2:リニアモータ、鉄心、三相	V-508.xx1:48 V-508.xx2:48	V-508.xx1:12 V-508.xx2:14	V-508.xx1:3 V-508.xx2:5	V-508.xx1:3.2 V-508.xx2:3.2	V-508.xx1:0.7 V-508.xx2:1.1	V-508.xx1:4.28 V-508.xx2:4.81	V-508.xx1:5.92 V-508.xx2:2.46	V-508.xx1:1.26 V-508.xx2:1.94	V-508.xx1:5.36 V-508.xx2:3.02	V-508.xx1:20 V-508.xx2:18	V-508.xx1:80 V-508.xx2:80	10~50	20~90相対、結露しないこと	アルミニウム、ブルー/ブラックアルマイト