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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-ピーアイ・ジャパン株式会社

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移動範囲 (mm)

ヨー (μrad)

ケーブルとコネクタなしの質量 (g)

ケーブルとコネクタを含む質量 (g)

横方向の剛性 (N/μm)

双方向再現性 (nm)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X

最大速度、閉ループ (mm/s)

8

最小インクリメンタルモーション (nm)

6

ピッチ (μrad)

250

直線 (µm)

2

駆動力 (N)

7

セルフロック (N)

8

モータータイプ

圧電慣性駆動

最大負荷容量、水平 (kg)

0.5

最大負荷容量、任意 (kg)

0.1

ガイドの種類

アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング

軸方向剛性 (N/μm)

1.5

統合センサー

リニアエンコーダ

センサー解像度 (nm)

1

基準スイッチ

オプティカル

センサー信号

アナログ,1Vpp

使用温度範囲 (℃)

0から50

ケーブル長 (m)

2

モーター/センサーコネクタ

Dサブ15 (m)

材料

アルミニウム

推奨電子機器

E-873.1AT,E-873.10C885

この製品について

製品の説明

■圧電慣性駆動

ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。慣性駆動原理は、特別なドライバエレクトロニクスによって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。 アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。最大20kHzの動作周波数で、ドライブはランナーに直接作用し、最大6mm/sの速度を達成します。

■応用分野

マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。テスティング。

■直接測定原理

・リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。 ・分解能1ナノメートル。

■特徴

・幅わずか45mm ・駆動力7N ・ナノメートルの位置分解能を備えたインクリメンタルセンサ ・アダプタープレートなしのXY組み合わせが可能

  • 型番

    Q-545.240

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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ® Q-545.240の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) 最大速度、閉ループ (mm/s) 最小インクリメンタルモーション (nm) ピッチ (μrad) ヨー (μrad) 直線 (µm) 駆動力 (N) セルフロック (N) モータータイプ 最大負荷容量、水平 (kg) 最大負荷容量、任意 (kg) ケーブルとコネクタなしの質量 (g) ケーブルとコネクタを含む質量 (g) ガイドの種類 軸方向剛性 (N/μm) 横方向の剛性 (N/μm) 統合センサー センサー解像度 (nm) 基準スイッチ 双方向再現性 (nm) センサー信号 使用温度範囲 (℃) ケーブル長 (m) モーター/センサーコネクタ 材料 推奨電子機器
Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-品番-Q-545.240 要見積もり X 26 8 6 250 250 2 7 8 圧電慣性駆動 0.5 0.1 135 245 アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング 1.5 10 リニアエンコーダ 1 オプティカル 200 アナログ,1Vpp 0から50 2 Dサブ15 (m) アルミニウム E-873.1AT,E-873.10C885

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返答率

100.0%


返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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