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Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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X単位の移動範囲 (µm)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)

Xにおける一方向再現性 (nm)

X単位の双方向再現性 (nm)

X単位の最小増分モーション (nm)

センサー解像度 (nm)

全体の質量 (g)

ケーブルなしの質量 (g)

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アクティブ軸

X

最大速度 (X) (無負荷) (mm/s)

6

Xの線形性 (µm)

3.5

ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)

±150

センサー信号

Sin/cos、1Vピークピーク

基準スイッチ

オプティカル

ドライブの種類

Qモーション®ピエゾモーター

X単位の正の運動方向への駆動力 (N)

0.6

X単位の負の運動方向への駆動力 (N)

0.6

ガイド

クロスローラーガイド

Xの保持力、パッシブ (N)

1.3

材料

ステンレススチール

最大負荷容量、任意の方向のベースプレート (kg)

0.06

最大耐荷重、ベースプレート水平 (kg)

0.3

使用温度範囲 (℃)

0から40

コネクタ

Dサブ15ピン(m)

ケーブル長 (m)

1

推奨コントローラ/ドライバ

E-873.1AT,E-873.10C885

この製品について

製品説明

■圧電慣性駆動

ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。 慣性駆動原理は、特殊な駆動電子機器によって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。ランナーに直接作用するドライブは、最大6kHzの動作周波数で最大20mm/sの速度を達成します。

■直接測定原理

リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。解像度4nmまたは1nm (バージョンによって異なります) 。

■応用分野

マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。アプリケーションのテスト。

■製品特徴

・幅わずか21mm、高さ10mm ・内蔵インクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 ・エンコーダ分解能:最大1nm ・最小増分モーション30nmまで ・アダプタプレートまたはブラケットを備えた多軸システムセットアップ (オプションとして利用可能)

■その他

双方向再現性:±521.30mmの場合はQ-0.x16モデル、±521.40mmの場合はQ-0.x04モデルに適用

  • 型番

    Q-521.230

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Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ Q-521.230の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (µm) 最大速度 (X) (無負荷) (mm/s) Xの線形性 (µm) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) 統合センサー Xにおける一方向再現性 (nm) X単位の双方向再現性 (nm) X単位の最小増分モーション (nm) センサー信号 センサー解像度 (nm) 基準スイッチ ドライブの種類 X単位の正の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) ガイド Xの保持力、パッシブ (N) 全体の質量 (g) ケーブルなしの質量 (g) 材料 最大負荷容量、任意の方向のベースプレート (kg) 最大耐荷重、ベースプレート水平 (kg) 使用温度範囲 (℃) コネクタ ケーブル長 (m) 推奨コントローラ/ドライバ
Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.230 要見積もり X 22 6 3.5 ±150 ±150 インクリメンタルリニアエンコーダ 25 ±75 50 Sin/cos、1Vピークピーク 4 オプティカル Qモーション®ピエゾモーター 0.6 0.6 クロスローラーガイド 1.3 126 34 ステンレススチール 0.06 0.3 0から40 Dサブ15ピン(m) 1 E-873.1AT,E-873.10C885

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22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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