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ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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X単位の移動範囲 (µm)

ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)

X単位のシステム解像度 (nm)

X単位の電気容量 (μF)

Xの剛性 (N/μm)

Xの共振周波数、無負荷 (Hz)

Xの共振周波数、200gの負荷下 (Hz)

Z単位の許容押し力 (N)

全体の質量 (g)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X

直線性誤差、閉ループ (%)

0.03

統合センサー

静電容量式、直接位置測定

ドライブの種類

ピクマ®

ガイド

レバー増幅付き曲げガイド

Xでの許容プッシュ力 (N)

100

Xでの許容引っ張り力 (N)

20

材料

鋼鉄

センサーコネクタ

静電容量センサー用LEMO

ケーブル長 (m)

1.5

使用温度範囲 (℃)

-20から80

推奨コントローラ/ドライバ

E-625,E-709.1C1L,E-754

この製品について

■応用分野

・走査型顕微鏡 ・測定技術 ・テスト手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品概要

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度

モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■PICMA®ダイレクトドライブによるより高い剛性とダイナミクス

PICMA®ダイレクトドライブを備えたピエゾナノポジショナーには、機械的な変換はありません。これにより、高速応答速度と、ピエゾ駆動範囲で可能な限り最高の剛性とダイナミクスが可能になります。

■製品特徴

・ガイド付きステージとアクチュエータを同時に ・最大移動範囲38μm ・分解能0.1nm ・ダイレクトドライブによる特に高速な応答動作 ・静電容量センサーによる最高の直線性

■その他

PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。

  • 型番

    P-753.11C

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ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ P-753.11Cの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (µm) 直線性誤差、閉ループ (%) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) 統合センサー X単位のシステム解像度 (nm) ドライブの種類 X単位の電気容量 (μF) ガイド Xの剛性 (N/μm) Xの共振周波数、無負荷 (Hz) Xの共振周波数、200gの負荷下 (Hz) Xでの許容プッシュ力 (N) Z単位の許容押し力 (N) Xでの許容引っ張り力 (N) 全体の質量 (g) 材料 コネクタ センサーコネクタ ケーブル長 (m) 使用温度範囲 (℃) 推奨コントローラ/ドライバ
ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ-品番-P-753.11C 要見積もり X 15 0.03 ±5 ±5 静電容量式、直接位置測定 0.1 ピクマ® 1.5 レバー増幅付き曲げガイド 45 5,600 2,500 100 80 20 160 鋼鉄 LEMO LVPZT 静電容量センサー用LEMO 1.5 -20から80 E-625,E-709.1C1L,E-754

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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