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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

x

25mm移動範囲あたりの真直度・平面度 (µm)

0.1

加速、無負荷 (m/s²)

20

z方向の耐荷重 (N)

100

y単位の耐荷重 (N)

40

θxの許容トルク (Nm)

5

θyの許容トルク (Nm)

8.3

移動した質量 (kg)

1.2

ガイドタイプ

エアベアリング

ドライブタイプ

アイアンレス3相リニアモーター

中間回路電圧、RMS (A)

48、公称最大80

ピーク電流、RMS (A)

3.5

公称電流、RMS (A)

1.2

ピークフォース (N)

33.2

公称力 (N)

11.1

力定数、RMS (N/A)

9.4

抵抗相間 (Ω)

6.3

インダクタンス相間 (mH)

1

逆起電力位相-位相 (V・s/m)

7.7

ケーブル配線

外部移動ケーブル

統合センサー

A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ

センサー信号

A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期 A-121.xxxB:バイSS-C

センサー解像度 (nm)

A-121.xxxA:4.88 A-121.xxxB:1

双方向再現性 (µm)

A-121.xxxA:±0.25 A-121.xxxB:±0.25

この製品について

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポート。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ ・XYセットアップと個々の構成 ・ケーブルトラックのバリエーション ・垂直アセンブリのカウンターバランスオプション ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ115mm×115mm ・移動範囲350mm ・60mmからのロープロファイル ・1nmまでの分解能

  • 型番

    A-121.100

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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ A-121.100の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) ピッチ/ヨー (µrad) 真直度・平面度 (µm) 25mm移動範囲あたりの真直度・平面度 (µm) 速度、無負荷時 (MS) 加速、無負荷 (m/s²) z方向の耐荷重 (N) y単位の耐荷重 (N) θxの許容トルク (Nm) θyの許容トルク (Nm) 移動した質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドタイプ ドライブタイプ 中間回路電圧、RMS (A) ピーク電流、RMS (A) 公称電流、RMS (A) ピークフォース (N) 公称力 (N) 力定数、RMS (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V・s/m) ケーブル配線 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) 双方向再現性 (µm) 位置決め精度、未校正 (µm)
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.100 要見積もり x 100 20 0.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 4.2 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±1.5
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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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