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極低温条件下のTEMラメラの作製や大量イメージングのためのソリューションで、生理的環境に近い状態のイメージングが可能です。光学顕微鏡やレーザー顕微鏡およびCrossbeamと相関が可能。同時に、多用途なFIB-SEMの柔軟性のメリットもあります。
FIB
チャンバーサイズとポート
ステージ
ガス
Uni-GIS：Pt, C, SiOx, W, H2O/Multi-GIS：Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2
解像度
32k×24kオプションのAtlas 5 3Dトモグラフィーモジュール装備で50k×40kまで)
分析オプション
EDS、EBSD、WDS、SIMS、その他
引き込み式 ToF-SIMS 分光器 検出限界
シリコン内のホウ素<4.2ppm
引き込み式 ToF-SIMS 分光器 横方向の分解能
<35nm
引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量電荷比
1~500Th
引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量分解能
m/Δm>500FWTM
引き込み式 ToF-SIMS 分光器 深さ方向の分解能
<20nmAlAs/GaAsマルチレイヤ―システム
フェムト秒レーザー 種別
DPSS
フェムト秒レーザー 波長 (λ)
515nm (緑)
フェムト秒レーザー 光学系
テレセントリック
フェムト秒レーザー パルス持続時間
<350fs
フェムト秒レーザー スポットサイズ
<15µm
フェムト秒レーザー 走査範囲サイズ
40x40mm²
型番
相関クライオ顕微鏡ワークフロー取扱企業
カールツァイス株式会社カテゴリ
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電子源方式が電界放出型の製品
電子顕微鏡をフィルターから探すことができます
使用用途
#元素分析 #マッピング #自動測定 #3D分析 #低真空観察 #異物分析 #高分解能観察 #試料作製 #スクリーニング分析観察原理
透過型電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 反射電子顕微鏡 走査透過電子顕微鏡検出方式
二次電子検出型 反射電子検出型 X線分析型電子源タイプ
熱電子放出型 電界放出型 シュットキー型試料環境対応
低真空型 クライオ型 環境制御型分解能 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 16加速電圧 kV
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30倍率 倍
1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000ステージ移動範囲 °
-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90最大試料寸法 mm
30 - 80 80 - 200 200 - 1,500プローブ電流 nA
0 - 10 10 - 100 100 - 500
