3D分析と試料作製を高いスループットで実現する FIB-SEM Crossbeam-カールツァイス株式会社

Crossbeam laser | 3D分析と試料作製を高いスループットで実現する FIB-SEM Crossbeam
カールツァイス株式会社


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カールツァイス株式会社の対応状況

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型番説明

大型材料のアブレーションや大型試料の作製のための装置です。エアロックに搭載されたフェムト秒レーザーがin situ研究をサポートし、チャンバー汚染を防止します。Crossbeam 350もしくは550として設定可能。深部にある内部組織に素早くアクセスし、原子プローブ試料など、きわめて要件の厳しい構造の試料を作製できます。


型番フィルター

各指標から他の型番を探すことができます。表示されている値は、現在選択されている型番の値です。

FIB

ガス

ステージ

チャンバーサイズとポート

フェムト秒レーザー スポットサイズ

フェムト秒レーザー パルス持続時間

フェムト秒レーザー 光学系

フェムト秒レーザー 波長 (λ)

フェムト秒レーザー 種別

フェムト秒レーザー 走査範囲サイズ

分析オプション

利点

帯電制御

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 検出限界

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 横方向の分解能

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 深さ方向の分解能

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量分解能

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量電荷比

解像度

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  • 型番

    Crossbeam laser




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3D分析と試料作製を高いスループットで実現する FIB-SEM Crossbeam Crossbeam laserの性能表

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