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3D分析と試料作製を高いスループットで実現する FIB-SEM Crossbeam-カールツァイス株式会社

Crossbeam laser | 3D分析と試料作製を高いスループットで実現する FIB-SEM Crossbeam
カールツァイス株式会社

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型番説明

大型材料のアブレーションや大型試料の作製のための装置です。エアロックに搭載されたフェムト秒レーザーがin situ研究をサポートし、チャンバー汚染を防止します。Crossbeam 350もしくは550として設定可能。深部にある内部組織に素早くアクセスし、原子プローブ試料など、きわめて要件の厳しい構造の試料を作製できます。

FIB

チャンバーサイズとポート

ステージ

帯電制御

利点

全型番で同じ値の指標

ガス

Uni-GIS：Pt, C, SiOx, W, H2O/Multi-GIS：Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2

解像度

32k×24kオプションのAtlas 5 3Dトモグラフィーモジュール装備で50k×40kまで)

分析オプション

EDS、EBSD、WDS、SIMS、その他

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 検出限界

シリコン内のホウ素<4.2ppm

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 横方向の分解能

<35nm

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量電荷比

1~500Th

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 質量分解能

m/Δm>500FWTM

引き込み式 ToF-SIMS 分光器 深さ方向の分解能

<20nmAlAs/GaAsマルチレイヤ―システム

フェムト秒レーザー 種別

DPSS

フェムト秒レーザー 波長 (λ)

515nm (緑)

フェムト秒レーザー 光学系

テレセントリック

フェムト秒レーザー パルス持続時間

<350fs

フェムト秒レーザー スポットサイズ

<15µm

フェムト秒レーザー 走査範囲サイズ

40x40mm²

この製品について

■概要

イメージングと分析性能を兼ね備えた高分解能電界放出型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) に、次世代集束イオンビーム (FIB) の処理能力を統合。複数のユーザーがいる施設や、学術・産業研究所での研究開発に適しています。Crossbeamは、ミリング、イメージングや3D分析においてFIBアプリケーションをスピードアップします。 技術仕様

■SEM：Crossbeam 350

ショットキー エミッター/1.7nm@1kV/1.5nm@1kV (Tandem Decel 使用) /1.9nm@200V (Tandem Decel 使用) /0.9nm@15kV/0.7nm@30kV (STEM モード) /2.3nm@1kV (WD5mm) /1.7nm@1kV (Tandem Decel使用、WD5 mm) /1.1nm@15kV (WD5mm) /2.3nm@20kV&10nA (WD5mm) /ビーム電流：5pA～100nA

■SEM：Crossbeam 550

ショットキー エミッター/1.4nm@1kV/1.2nm@1kV (Tandem Decel 使用) /1.6nm@200V (Tandem Decel 使用) /0.7nm@15kV/0.6nm@30kV (STEM モード) /1.8nm@1kV (WD5mm) /1.3nm@1kV (Tandem Decel使用、WD5 mm) /0.9nm@15kV (WD5mm) /2.3nm@20kV&10nA (WD5mm) /ビーム電流：5pA～100nA

■検出器：Crossbeam 350

Inlens SE、Inlens EsB、VPSE (圧力可変モード用2次電子検出器) 、SESI (2次電子／2次イオン) 、aSTEM (透過電子検出器) 、aBSD (反射電子検出器)

■検出器：Crossbeam 550

Inlens SE、Inlens EsB、ETD (Everhard-Thornley2次電子検出) 、SESI (2次電子/2次イオン) 、aSTEM (透過電子検出器) 、aBSD (反射電子検出器) 、CL (カソードルミネッセンス検出器)

  • 型番

    Crossbeam laser

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分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 16

加速電圧 kV

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30

倍率 倍

1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000

ステージ移動範囲 °

-15 - -10 -10 - -5 0 - 70 70 - 90

最大試料寸法 mm

0 - 30 30 - 80 80 - 200 200 - 1,500

プローブ電流 nA

0 - 10 10 - 100 100 - 500

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ZEISSは光学とオプトエレクトロニクス分野をリードする国際的テクノロジー企業です。 ZEISSグループは半導体製造装置、工業用測定機、顕微鏡、医療機器、眼鏡レンズ、カメラおよび映写機用レンズ、双眼鏡、プラネタリウムなど...

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