非接触方式で最も精度の高い計測原理である白色干渉法を用いた3次元エリアセンサーカメラです。
センサ一つ一つが高度な演算処理を行うことができる独自のCMOSセンサーにより非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能です。
ワンショットあたり数100ミリ秒でナノオーダーの3次元計測を行い、顕微鏡や接触式と同等レベルの測定をインライン検査に活用することが可能です。

■特徴・非接触で高精度計測
heliInspectはサブミクロンの高精度計測を可能とする白色干渉を原理とした3次元センサーです。H8シリーズでは数十nm精度で高さを計測します。

・高速な3次元計測
ワンショットあたり0.5秒程度でナノオーダーの3次元計測が可能です。素子内で超高速データ処理を行うセンサーにより、白色干渉計の精度をそのままに劇的な計測時間の短縮を実現しています。

・幅広い用途
通常の画像処理では困難であった透明な液面やガラス、反射率の高い鏡面対象物の表面も正確に計測することが可能です。はんだボールの形状検査、コプラナリティ検査、レンズ表面形状検査、膜厚検査など、幅広い分野に応用できます。

・小型で組込みも容易
heliInspectは超高速センサー、光源および光学系を、小型モジュールにパッケージングしたものです。堅牢で設置が容易なため、研究開発やインラインでの全数検査など、様々な用途に手軽に利用することができます。

型番
heliInspect H9 / H9M

シリーズ
高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect

取扱企業
株式会社リンクス

カテゴリ

測定機器

3D形状測定機

カメラ

3Dカメラ

センサー

3Dセンサー

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高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect heliInspect H9 / H9Mの性能表

商品画像	価格 (税抜)	水平分解能 (µm)	WD (mm)	本体サイズ	Zステージエンコーダ分解能	レンズ倍率	視野 (mm)	ソフトウェア
	要見積もり	・H9：0.24、0.48、1.2、2.4、3、6、12 ・H9M：4、6、8、12、15、24	・タイプS：49、49、51、51、51、51 ・タイプL：110、113、113、113	・タイプS：H300mm x W216mm x D116mm (外付けZステージ含む) ・タイプL：H342mm x W221mm x D116mm (外付けZステージ含む)	100nm	3x、2x、1.5x、1x、0.8x、0.5x	4.10 × 4.35、6.14 × 6.53、8.19 × 8.70、12.29 × 13.06、15.36 × 16.32、24.58 × 26.11	組込み用SDK (HALCON, C++, LabView, Python)

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使用用途

#解析評価 #大型対象物測定 #寸法測定 #データ取得 #品質管理 #自動測定 #小型対象物測定 #CAD比較

測定原理

レーザ三角測量型構造化光投影型共焦点方式干渉計方式接触式プローブ型垂直⾛査⼲渉法

センサ方式

面検出型点検出型

移動方式

ステージ移動型ヘッド移動型

特徴機能

高速スキャン型高精度ナノ型

測定範囲 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 160,000 160,000 - 350,000

精度 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400

測定速度点/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 2,000,000

総重量 kg

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 8,000

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