株式会社セルバック

独自のICPコイル設計のSLRP-01は、ガス分解に必要な電磁波をロスを少なく分解室に送り込み、高効率で高密度のプラズマを生成する事が出...

• 加工・工作機器

• プラズマ装置

PEGASUS Plat Formは、省スペース設計され柔軟なアーキテクチャによりプラズマCVD、RTA、Ashing、EtchingのProcess chamberが統合可能な...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

Satera (常温接合装置) は、独自のプラズマ表面活性化技術と高位置精度の組み合わせで、メモリの3次元積層、CMOSイメージセンサ向けに対...

• 加工・工作機器

• 大気圧プラズマを用いた分子結合接着・接合

エッチング装置、CVD装置の各種窓にフッ素プラズマに強く汚染原因にならない透明なコーティングを施したガラス窓を低価格で提供致します...

• 無機・鉱物素材

• ガラス

PEGASUSは、メモリ、パワーデバイス、パッケージ、MEMS市場において高品位の成膜プロセスを提供します。

• 半導体製造

• 半導体製造装置

PEGASUS HDP-CVDは、ICPの高密度プラズマの高いガス分解効率で、低温成膜と緻密な膜を作り上げます。2タイプのHDP-CVDは、BタイプとHタ...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

PEGASUS 1500は、G4.5又はφ6インチ (25枚) 基板の搭載が可能な大型バッチ処理装置です。数10μmの厚膜処理は、枚葉式では効率が良くない...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリ...

• 半導体製造

• 半導体製造装置