株式会社リンテック

■製品説明 EtherCAT通信用高性能マスフローコントローラ。 半導体プロセス向け高性能マスフローコントローラEtherCAT通信版。SEMIに準...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。 LM-3000Lは高精性能の液体流...

• メーター・計測機器

• マスフローメーター

■製品説明 高効率の二流体ノズル気化器構造を採用し気化室を拡大、気化出口を改良する事で未気化排出を抑えた最新モデル。 VU-450より...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 二流体ノズルと気化室下部のブローアップガスにより、液相での気化室壁面との接触を低減した気化器。 高効率の気化を実現す...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 流量測定時 (通電時) Max120℃、非通電時Max150℃の高温マスフローメータ。 高温になる接ガス部分と電子基板を分離する事で高...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 DeviceNet通信対応マスフローコントローラ。 最新の半導体製造装置搭載の制御機器は、アナログ制御ではなく、高速制御や配線...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。 熱式の液体用流量...

• メーター・計測機器

• マスフローメーター

■製品説明 キャリガスを必要としないクリーンなノンキャリ気化器VU-3000。 流量制御された液体を気化室入口のメッシュフィルターに拡散...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 二流体ノズルの高効率気化と大型の気化室による大流量、高効率な気化器。 液体ノズルとキャリアガスノズル (0.8~180SLM) の...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 流量制御Max120℃、非通電時Max150℃の環境で使用可能な高温用マスフローコントローラ。 高温になる接ガス部分と熱に弱い基板...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 最小動作差圧800Paの低差圧マスフローコントローラ。 独自開発した周囲温度補償式センサ低圧損仕様と、±1%F.S.の精度で圧力...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 応答時間200msecの超高速マスフローコントローラ。 サーマルセンサで100msec (typical) の高速流量制御を実現。リンテック独...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 短納期と低価格を実現した、ラバーシールモデルのマスフローコントローラ。 Ar、N2などの不活性ガスの流量制御やAirなどの流...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 マスフローコントローラ、マスフローメータの動作に必要な±15V電源を最大9台まで供給できるマスフローコントローラ専用電源で...

• 電源

• カスタム電源

■製品説明 気化器 (VU Series) や熱交換器 (HX Series) 、その他供給タンクや配管ヒータ等を電子温度調節器とSSRを用いて温度制御を行う...

• メーター・計測機器

• 調節計

■製品説明 最高設定温度300℃の高温設定が可能で、VU-550に比べて気化室を拡大。ヒータパワーをアップし気化出口の距離を延長した大流量...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 100SLMのN2を300℃に加熱可能な高温熱交換器。 ■特長 ・最大流量100SLM (N2換算) ・最高使用温度300℃ ・接ガス部材 (SUS316L...

• 温度制御

• 熱交換器

■製品説明 ±1%S.P.保証を実現した高性能デジタルマスフローコントローラ。 リンテック独自の周囲温度補償式センサにより低温でも高精度...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 ±1%S.P.の高性能デジタルマスフローメータ。 リンテック独自の周囲温度補償式センサを搭載し、高速測定が可能な高性能デジタ...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 MFCとの設定電圧、出力電圧等の電圧状態の確認が行えるマスフローコントローラ専用の動作チェック機器です。また、低消費電力...

■製品説明 オゾンガスの1年動作保証をしたマスフローコントローラ リンテック独自の周囲温度補償式センサにより熱分解性の高いオゾンガ...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 高性能マスフローコントローラに搭載される流量コントロールバルブ。 外部通信0～5Vによりバルブ開度を調整。気体の流量や圧...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 Max300℃でコンパクトな高温熱交換器。 ■特長 ・面間169mm×幅177mmのコンパクト設計 ・N2ガス20SLMを300℃に加熱可能 ・高温ガ...

• 温度制御

• 熱交換器

■製品説明 50SLMのN2を200℃に加熱可能な小型熱交換器。 ■特長 ・面間158mm×幅80mm×高さ80mmのコンパクト設計 ・最大流量50SLM ・最高使...

• 温度制御

• 熱交換器

■製品説明 マスフローコントローラを使用するに当たり、必要な電源･流量設定･流量出力の表示を1台で行え、スタンドアローンで流量制御が...

• メーター・計測機器

• 調節計

■製品説明 ピエゾアクチュエータ搭載の小型ノンキャリア気化気化器。 微小流量の制御と高速応答が可能なピエゾアクチュエータコントロ...

• 加工・工作機器

• 気化器

■製品説明 BCシリーズは、キャリアガスを導入し、内蔵タンクにてバブリングすることで各種液体材料を気化供給する装置です。 ■特長 ・...

• FA機器

• 定量供給装置

■製品説明 コリオリ式の流量センサにより直接質量流量を測定する為、C.F.に頼らず様々な液体の流量制御が可能な液体用マスフローコント...

• コントローラ・制御装置

• マスフローコントローラ

■製品説明 ソレノイドアクチュエータ搭載液体用コントロールバルブCV-1000 ソレノイドアクチュエータを搭載した液体用コントロールバル...

• 弁

• 流量制御弁

■製品説明 SVCシリーズは、内蔵タンク加熱し、気化したガスを高温用マスフローコントローラで流量制御し、液ガスを供給する装置です。流...

• FA機器

• 定量供給装置