株式会社電子技研

■概要 大気圧の圧力下で反応管 (石英ガラス製) の中に、アルゴンガス (Ar) と酸素ガス (O₂) を流し、13.56MHzの高周波電力でプラズマ放...

カメラや高感度センサーを用い、ガラス基板のエッジクラックを検出します。また、当システムは絨毯等の繊維の糸抜け (ほつれ) 検出他、...

■概要 低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上...

■概要 LCD用のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。 ■特徴 ・シ...

■概要 真空チャンバー，真空ポンプ不要。大気圧下で手軽にプラズマ表面改質を評価できるプラズマ照射ユニットです。材料表面の親水化か...

■概要 LCD等のマスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、高速スピンにより乾燥を行います。 ■特徴 ・インテリジェンスコントロールによ...

■概要 基板をスプレー方式にて現象/エッチング/乾燥処理を行います。 ■特徴 ・スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセス ・ダ...

■概要 処理室に電極/ステージを複数設置することにより、ガラス基板、プリント基板等をバッチ処理可能なプラズマ処理装置を開発しました...

■概要 基板表面をリアクテイブイオンエッチング (ＲＩＥ) プラズマによる異方性を持って精密加工することが出来るプラズマ装置です。基...

■概要 LCD等の基板を水平搬送にて、エッチング／シャワー洗浄／乾燥処理を行います。 ■特徴 ・ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッ...

■概要 基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行います。 ■特徴 ・優れたパーティクル除去性能 ・高...

■概要 基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 ■特徴 ・UV/03によるシャワ...

■概要 粉体材料の均一全方向処理に特化したプラズマ表面改質装置です。プラズマ中で粉体を撹拌する機構が搭載された装置です。粉体表面...