株式会社YGK

豊富なオプションを揃えたセミオート機。洗浄確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

透明・不透明ウエハ両方を測定。ガラス・石英・LT/LNなどの異物検査に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

FOUP対応300mmウエハ用装置 GEM300・E84対応可能です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

FOUP対応300mmウエハ用装置。GEM300・E84対応可能です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

量産ライン用スタンダード機。豊富なオプションの選択が可能です。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

ダイシング (テープフレーム) ウエハの高感度異物測定。後工程の研究開発機として最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

開発拠点に最適なシンプル装置。洗浄確認、クリーン環境確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

ダイシング (テープフレーム) ウエハの高感度異物測定。後工程の研究開発機として最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

透明・不透明ウエハ両方測定。開発拠点に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

ペリクル用検査装置。ペリクルの表裏面異物を高速に測定できます。

• 検査装置

• 半導体検査装置

ガラス基板の研磨確認用検査装置。研磨出来栄えを比較検査で確認できます。

• 検査装置

• 基板検査装置

透明・不透明ウエハ両方測定。豊富なオプションで高感度測定に対応可能です。

• 検査装置

• 半導体検査装置

SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。研究開発や洗浄確認に最適です。

• 検査装置

• 半導体検査装置