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15 点の製品
株式会社YGK
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透明・不透明ウエハ両方を測定。ガラス・石英・LT/LNなどの異物検査に最適です。
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FOUP対応300mmウエハ用装置。GEM300・E84対応可能です。
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量産ライン用スタンダード機。豊富なオプションの選択が可能です。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
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ダイシング (テープフレーム) ウエハの高感度異物測定。後工程の研究開発機として最適です。
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開発拠点に最適なシンプル装置。洗浄確認、クリーン環境確認に最適です。
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SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
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SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。研究開発や洗浄確認に最適です。
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SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
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