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パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
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■特長 ・最大5基のカソード搭載により多様なプロセスと高生産性を両立 ・T/S距離調整により長期間の高膜厚均一性を維持 ・独自プラズマ制御 (MPスパッタ) 技...
パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
250人以上が見ています
■特長 ・マルチチャンバ型で多種多様なプロセスに対応 ・当社S600装置のユニットが搭載可能 ・T/S距離調整により長期間の高膜厚均一性を維持 ・独自プラズマ...