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パナソニック プロダクションエンジニアリングのスパッタリング装置

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パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社

マルチチャンバ式スパッタリング装置 S800

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■特長 ・マルチチャンバ型で多種多様なプロセスに対応 ・当社S600装置のユニットが搭載可能 ・T/S距離調整により長期間の高膜厚均一性を...




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