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#半導体製造

ウェハサイズ mm

150 - 200

200 - 300

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アルバック販売のエッチング装置

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アルバック販売株式会社

高密度プラズマドライエッチング装置 ULHITETM NE-7800H

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199.9時間 返答時間

■概要 高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料 (強誘電体...


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