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8 点の製品
アルバック販売株式会社
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■概要 本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最...
アルバック販売株式会社
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■概要 GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポ...
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■概要 高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。 ■用途 SiC向けイオン注入装置 ■特長 ・自動連続高温処理注入が可...
アルバック販売株式会社
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■概要 中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最...
アルバック販売株式会社
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■概要 中電流型イオン注入装置SOPHI-200/260は、最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置です。サンプリングをお受けしていま...
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■概要 低加速・高濃度対応のイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特長 ・枚葉式 ・薄Wafe...
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■概要 Max2,400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置です。 ■用途 パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス ■特...
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■概要 ・低価格 ・2kVまで加速可能 ・ポートアライナー付 ・ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整 (オプショ...
アルバック販売のイオン注入装置8製品中の注目ランキング
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