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項目別

Zでの双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 250

Z単位のシステム解像度 nm

0.5 - 0.8 0.8 - 1

Z単位の分解能 nm

0.2 - 0.4 0.4 - 0.6

Z単位の剛性 N/μm

1 - 2 2 - 3 3 - 4

Z単位の移動範囲 µm

50 - 100 100 - 200

回転範囲 mrad

0 - 50

使用用途

精密測定 光学調整 半導体検査 顕微鏡観察
  1. Metoree
  2. ステージ
  3. 傾斜ステージ
  4. ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパンの傾斜ステージ

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4 点の製品

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

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最新の閲覧: 3時間前

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■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・...

3種類の品番

P-518.TCD-大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ
P-528.TCD-大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ
P-558.TCD-大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ

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最新の閲覧: 15時間前

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■特徴 ・Z方向の移動範囲は±2.5mm ・回転範囲 θX、θY～±1° ・耐荷重8kgまで ・プラットフォーム直径250mm ・全高60mm ■概要 A-523はダ...


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