高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
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100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■特徴
・Z方向の移動範囲は±2.5mm ・回転範囲 θX、θY～±1° ・耐荷重8kgまで ・プラットフォーム直径250mm ・全高60mm■概要
A-523はダイレクトドライブのエアベアリングZチップ/チルトステージです。平行運動学的な多軸システムとして設計されたプラットフォームは、Zおよびチップ/チルト動作に使用できます。このステージは、ミニチュア形式で超高精度を提供します。 非接触コンポーネントを組み合わせることで、最高のパフォーマンス、品質、寿命を実現する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラーと一緒に注文すると、PIはサーボ調整最適化を適用し、負荷を加えた状態でZステージの構成と配線を実行します。すぐに使用できる完全な測位システムを受け取ります。■付属品とオプション
・エアフィルターセット ・真空クランプ機構内蔵■応用分野
・Zチップ/チルトステージは、ウェーハ検査、ファイバーの位置決め、光学系の位置決め、フラットスクリーン検査、マスクレスリソグラフィー、ウルトラLED製造などの高精度アプリケーションに最適です。 ・非接触設計はクリーンルーム用途に最適です。-
シリーズ
高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
傾斜ステージ注目ランキング
傾斜ステージの製品15点中、注目ランキング上位3点
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高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z方向の移動範囲 | θXでの回転範囲 | 回転範囲 (θY) | Z方向の加速、無負荷 | Z方向の最大速度、無負荷時 | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の最小増分動作 | θXの最小増分運動 | θYの最小増分運動 | Z方向の位置決め精度、校正済み | θXでの位置決め精度、未校正 | 位置決め精度 (θY、未校正) | Z方向の双方向繰返し精度 | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | 統合センサー | センサー信号 | センサー解像度 | ドライブタイプ | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | ピーク電流、RMS | 力定数 | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | 逆起電力位相-位相 | ポールピッチNN |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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A-523.25005B3 |
要見積もり | Z θX θY | 5mm | 2° | 1.6° | 10m/s² | 200mm/秒 | ±25μrad | ±25μrad | 0.01μm | 0.06μrad | 0.06μrad | ±0.5μm | ±15μrad | ±15μrad | 0.25μm | 8μrad | 8μrad | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | 1nm | 鉄筋レス三相リニアモーター | 24V | 60V | 1.4A | 2.8A | 5.9 該当なし | 5.2Ω | 1mH | 4.2V・s/m | 19.66mm |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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