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項目別

Zでの双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 250

Z単位のシステム解像度 nm

0.5 - 0.8 0.8 - 1

Z単位の分解能 nm

0.2 - 0.4 0.4 - 0.6

Z単位の剛性 N/μm

1 - 2 2 - 3 3 - 4

Z単位の移動範囲 µm

50 - 100 100 - 200

回転範囲 mrad

0 - 50

使用用途

精密測定 光学調整 半導体検査 顕微鏡観察

ピーアイ・ジャパンの傾斜ステージ

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1 点の製品

ピーアイ・ジャパン株式会社

高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ

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返信の比較的早い企業

100.0% 返答率

22.3時間 返答時間

■特徴 ・Z方向の移動範囲は±2.5mm ・回転範囲 θX、θY~±1° ・耐荷重8kgまで ・プラットフォーム直径250mm ・全高60mm ■概要 A-523はダ...


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