イワキのレジスト塗布装置
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株式会社イワキ
大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
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■大幅な省レジスト 駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほと...
株式会社イワキ
LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115
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■大幅な省レジスト 駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほと...
