LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115-PDS-H115
LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115-株式会社イワキ

LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115 株式会社イワキ

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この製品について

■大幅な省レジスト

駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。

■多様なコートプロセスに対応

吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。

■ダウンタイムの短縮

内蔵の圧力センサ (オプション) で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定は、コントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。

■高粘度用途に対応

・最高10,000mPa•sの高粘度液の取扱いが可能です。 ・摺動部のない独特な構造で、LEDやMEMSデバイス製造プロセスでの高粘度用途はもちろん、電解液充填用途にも対応可能です。

  • シリーズ

    LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115

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LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吐出量 吐出速度 吸込速度 最高吐出圧力 繰返し精度 取扱い液粘度範囲
LED・MEMSなどの高粘度用途に対応可能 フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115-品番-PDS-H115

PDS-H115

要見積もり 12.0mL/shot 0.5~2.0mL/sec 0.3~2.0mL/sec 1.0MPa ±0.5%以下 (F.S.) 100~10,000mPa·s

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都
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