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#半導体検査
#レーザー加工
#光学調整
#顕微観察
#微細加工
#ナノ計測
#自動位置決め
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#精密組立
#表面検査
駆動方式
電動型
軸構成
単軸型
二軸型
三軸型
回転型
ガイド方式
クロスローラ型
ボールリニア型
エアーベアリング型
マグレブ型
精度特性
高精度型
長ストローク型
高剛性型
アクティブ軸
X
Y
Z
θZ
移動範囲 mm
0 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 500
500 - 1,000
最小増分モーション µm
0 - 1
1 - 5
最大速度 mm/s
0 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 100
100 - 600
駆動力 N
0 - 1
1 - 20
20 - 200
許容押し力 N
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 500
ドライブの種類
ステッピングモーター
DCモーター
ブラシレスDCモーター
DCギアモーター
三相リニアモーター
ピエゾモーター
三相トルクモーター
ガイド
クロスローラーガイド
再循環ボールベアリングガイド
レバー増幅付き曲げガイド
エアベアリング
88 点の製品がみつかりました
88 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
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製品概要 ■コンパクトなZステージ、用途が広い ベルトギア付き折り畳み式駆動によるコンパクトなサイズのZステージ。M650mm×50mm接続グ...
3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
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製品概要 ■精密クラスZステージ ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウ...
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製品概要 ■精密クラスZステージ ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウ...
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■製品概要 アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクト...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
2110人以上が見ています
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■製品概要 アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクト...
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製品概要 ■リファレンスクラスリニアステージ 再循環ボールベアリングガイドによる高い移動精度と耐荷重。2mmピッチの精密ボールねじ。...
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製品概要 ■リファレンスクラスリニアステージ 再循環ボールベアリングによる高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (si...
5種類の品番
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製品概要 ■リファレンスクラスリニアステージ 高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1V) を備えたインクリ...
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■製品特徴 ・超高分解能エンコーダ ・アクティブドライブモーター ・ゼロプレイボールねじ ・非接触リミットおよびリファレンススイッチ...
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■応用分野 ・走査型顕微鏡 ・測定技術 ・テスト手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品説明 ■PICMAピエゾアク...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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ファイバと光学部品の位置合わせのための6自由度を持つシステム ■特徴 ・光ファイバーアライメントのための統合スキャンルーチン ・シ...
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ファイバと光学部品の位置合わせのための積層多軸システム ■特徴 ・光ファイバーアライメントのための統合スキャンルーチン ・シリコン...
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ファイバと光学部品の位置合わせのための積層多軸システム ■特徴 ・光ファイバーアライメントのための統合スキャンルーチン ・シリコン...
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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム ■特徴 ・X 軸と Y 軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します ...
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6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム ■特徴 ・6動作軸:3xリニア 3x回転 ・移動範囲は直線200 μm、先端/傾斜角は1 mrad ・パ...
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■特徴 ・効率的なダイナミックパフォーマンスを実現するダイレクトドライブ ・モーションプラットフォームの直径は85mm、110mm、210mm ...
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■特徴 ・ハイブリッド設計: 再循環ボールベアリングガイドを備えたガントリー軸、エアベアリングを備えたブリッジ軸 ・アブソリュートエ...
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■特徴 ・天井移動XYガントリー ・精密循環ボールベアリングガイド ・アブソリュートエンコーダ ・高性能アイアンレスリニアモーター ・...
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■特徴 ・オーバーヘッド動作用のXYガントリー。移動範囲は1m×2mまで ・精密循環ボールベアリングガイド ・アブソリュートエンコーダ ・...
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■特徴 ・移動範囲205mm×205mm (8") ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーターまたはDCモーター ・分...
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■特徴 ・移動範囲102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーター...
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■特徴 ・P-545 PInano®ピエゾナノポジショニングシステム用の安定したプラットフォーム ・組み込みが容易な薄型:30mm ・移動範囲 25mm×2...
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■特徴 ・移動範囲 102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.1µmまでの一方向の再現性 ・速度 500mm/sまで ・三相リニアモーター ・...
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■特徴 ・移動範囲 305mm×305mm (12") ・0.1µmまでの一方向の再現性 ・鉄筋レス三相リニアモーター ・速度 200mm/s まで ・分解能1nmの...
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