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アルバック販売の搬送ロボット5製品中の注目ランキング
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■概要 COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。 ■用途 ・各種半導体用装置でのウェーハ自動...
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■概要 COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。 ■用途 ・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実験装置での...
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■概要 COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。 ■用途 ・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実...
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■概要 NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。 ■用途 ・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬...
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■概要 ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。 ■用途 ・各種半導体用...
