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オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマCVD装置

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オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

プラズマCVDシステム PlasmaPro 100 PECVD

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PlasmaPro 100 PECVD システムは、屈折率、応力、電気特性、ウェットケミカルエッチング速度などの膜特性を制御し、優れた均一性を持つ...


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