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マイクロフェーズのプラズマCVD装置

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株式会社マイクロフェーズ

CVD装置 RFプラズマアシストCVD装置 MPCVD-Plasma

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ガスのイオン化や前駆体の分解を促進 ■概要 ・横型管状炉熱CVD装置の上流側に、高周波誘導プラズマを発生させることにより、入力ガスあるいは前駆体のイオン...


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