アルバック販売のプラズマCVD装置
アルバック販売のプラズマCVD装置注目ランキング
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3 点の製品がみつかりました
アルバック販売株式会社
ロードロック式プラズマCVD装置 CC-200/400
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■概要 ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。 ■用途 ・パワーデバイス ・LED、LD、高速...
アルバック販売株式会社
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400
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■概要 枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。 ■用途 ・パワーデバイス ・LED、LD、高速...
アルバック販売株式会社
枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ
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■概要 CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。 ■用途 低温P-Si、α-Si TFT ■特長 ・従来のプロセス温度...
