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#研究開発

プラズマ励起方式

誘導結合型

MPSのプラズマCVD装置

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1 点の製品

株式会社MPS

熱+プラズマCVD装置

410人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

100.0% 返答率

48.0時間 返答時間

■概要 窒化物を作るための実験装置です。原料は塩化物とアンモニアを使用します。成膜はハロゲンランプ加熱による熱CVDと誘導結合プラズ...


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