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薄膜作製装置 PVD装置 ハイブリッド蒸着装置-北野精機株式会社

北野精機株式会社

薄膜作製装置 PVD装置 ハイブリッド蒸着装置

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■特徴 本装置はPVD手法からなるマグネトロンスパッタ源4個とEB蒸着源2個とMBE用K-CELL装備したハイブリッド型蒸着装置です。高融点材料...


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