プレートヒータとは
プレートヒータは薄型板状のヒータの総称で、あらゆる工業、産業用途で広く活用されています。 プレートを構成する板材は様々な素材が用いられており、内蔵されるヒーターは一般的な抵抗加熱を用いたものが内蔵されます。 内蔵されるヒーターだけでは強度が得られず、固定等が難しい為、外装となる板状の材質で覆う事で強度の確保や、簡易な固定が出来るよう構成されています。 外装に過昇温防止のサーモスイッチや温度監視用の熱電対を備えた製品もあります。
プレートヒータの使用用途
樹脂成型用金型やプレス金型の加熱、試験装置内部の熱源、結露防止、ガラスや樹脂基板の貼り合わせ装置などの産業、工業設備での使用や、液晶パネル製造工程でのアニール炉、エッチャー等の平面熱源、真空成膜容器の防着熱源など、半導体製造分野でも多く利用されています。
簡易な製品ではボンデ鋼板やアルミ鋼板、ステンレス鋼板で覆われたものが多い一方、平面度に高い精度が要求される場合や均熱性を重視する場合はステンレス鋼、アルミ、セラミック等の高精度加工プレートが用いられます。
プレートヒータの原理
プレートヒータは薄型の板状をした加熱源としての総称であり、構成は各種タイプが存在します。
一般的にプレートヒータとして呼称されるものは発熱減となるニクロムやステンレス、ニッケルなどをマイカ（雲母）板で挟んだマイカヒータを、更にステンレス薄板やボンデ鋼板、アルミ薄板等で多い、マイカの強度不足、脆さを補った製品を指します。 また、内蔵するヒータがポリイミドヒータやシリコンラバーヒータの製品もあります。 予め曲面に合わせて湾曲させたものや、薄い鋼板ではなく面積に応じた厚みを持つ高精度加工品のプレート（ステンレスやアルミ、チタン、銅、セラミック等）を備えるものなど、使用用途によって多岐にわたる製品が存在します。 その為、既製品が少なく、カスタムオーダーによる製品が主流です。
使用方法として接触加熱と非接触加熱の2種に大別され、前者は加熱対象物にプレートヒータを接触させて使用し、後者は接触させずに対流や輻射の効果で対象物を加熱します。
後者の場合はヒータが熱負荷の無い空焚き状態となる為、断線のリスクを考慮し、ヒータ容量の設定に注意が必要です。