平面研削加工とは
平面研削加工とは、高速回転する砥石を加工材料にあて、その平面を削って加工する研削方法の1種です。加工には、平面研削盤と回転研石が使用されます。
類似した加工方法として、平面研磨というものがあり、平面研削と同様、材料の表面に加工を加えるものですが、目的や手法はそれぞれ異なります。平面研磨は通常、平面研削よりも高精度のものを指し、表面を滑らかにすることを目的としています。一方、平面研削は平面度および平行精度の向上を目的としています。
平面研削加工の使用用途
平面研削加工は、材料の厚さを調整すること、また平面度および平行精度を向上させることを目的として用いられます。また、研削加工は少しずつ加工するために荒削りには時間がかかりますが、平面研削盤では、ミクロン単位での精密な研削をすることが可能であり、加工面の仕上がり精度が良いため、切削加工後の仕上げ工程でよく使われます。
特に、平行度が厳しく求められる機械部品の製作や、半導体ウエハーの加工などで使われています。
平面研削加工の種類
平面研削加工で使用される機械装置は平面研削盤と呼ばれ、砥石の主軸がテーブルに対して垂直であるか、平行であるかで、縦軸型と横軸型の2種類に分けられます。 また、テーブルの形状（長方形・円形）により、角テーブル形と丸テーブル形に分類されます。 軸の方向とテーブルの形状の組み合わせにより、4種類に分類されます。以下にそれぞれの方法と特徴を示します。
- 縦軸角テーブル形 テーブルが左右に動きながら、砥石の側面を使い研削します。 広範囲を一度に研削できるため、長尺物の研削に適しています。
- 縦軸丸テーブル形 テーブルが回転しながら、砥石の側面を使い研削します。 小さい部品を一度に加工でき、量産性に優れます。
- 横軸角テーブル形 テーブルが左右に動きながら、砥石の外周面を使い研削します。 最も一般的に使用されている方法です。
- 横軸丸テーブル形 テーブルが回転しながら、砥石の外周面を使い研削します。 小さい部品の量産加工に適しています。