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搬送機器の製品836点中、注目ランキング上位6点
ベース一体型のボール循環型リニアガイドを内蔵 ECエレシリンダー EC-S8M 標準コネクターケーブル
日本ディック株式会社
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
MTSR-3 |
要見積もり |
Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ |
R軸:374mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 380mm |
X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (30) |
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
デジタル表示付き真空センサー |
RS232C, RS-485 |
電源: 駆動 DC24V±5% 10A 制御 DC24V±5% 3.15A真空 : -80kP a以下 15L/min以上 1系統 (Φ6×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッ チ継手接続) |
本体:約35kg |
