搬送機器注目ランキング
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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MTSR-3 |
要見積もり | Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸:374mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 380mm | X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (30) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | デジタル表示付き真空センサー | RS232C, RS-485 | 電源: 駆動 DC24V±5% 10A 制御 DC24V±5% 3.15A真空 : -80kP a以下 15L/min以上 1系統 (Φ6×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッ チ継手接続) | 本体:約35kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
