クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徴
・3FOUPにレールレスで対応します。 ・チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。 ・アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。-
シリーズ
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
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MTE-E |
要見積もり | Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg | X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | デジタル表示付き真空センサー | RS232C,RS-485 | 電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続) | 本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
