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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MTE-E |
要見積もり |
Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ |
R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg |
X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30) |
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
デジタル表示付き真空センサー |
RS232C,RS-485 |
電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続) |
本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg |
