クリーン搬送システム大気搬送ロボットサーボモーター仕様大気用クリーンロボット-TT301A-RA

クリーン搬送システム大気搬送ロボットサーボモーター仕様大気用クリーンロボット
タツモ株式会社

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この製品について

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

■製品特徴・高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です。
・SEMI F47に対応しています。
・従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。
・独自の高速入替機構により、ウェーハ入替時間を50%削減しました。
・新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。
・従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。
・2FOUPにレールレスで対応します。
・マッピングセンサーも用意しております。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
クリーン搬送システム大気搬送ロボットサーボモーター仕様大気用クリーンロボット

取扱企業
タツモ株式会社

カテゴリ

FA機器

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搬送器具・装置

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ロボット

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クリーン搬送システム大気搬送ロボットサーボモーター仕様大気用クリーンロボット品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	適用ワーク	動作範囲	繰返し精度	ウェーハ把持方法	ウェーハ把持確認	制御方法	ユーティリティ	重量
	TT301A-RA	要見積もり	Φ100mm~Φ300mm SEMI/JEITA規格品ウェーハ	R軸: 430mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 330mm	X,Y方向: ±0.1mm (3σ) Z軸: ±0.05mm (3σ)	裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ	裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ	RS232C, ETHERNET	電源: 単相AC200V ~ 230V 7.5A 1系統真空: -80kPa以下 15L/min以上1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続)	本体:約35kg コントローラ (TT301A) : 約10kg