クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徴
・高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です。 ・SEMI F47に対応しています。 ・従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。 ・独自の高速入替機構により、ウェーハ入替時間を50%削減しました。 ・新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。 ・従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。 ・2FOUPにレールレスで対応します。 ・マッピングセンサーも用意しております。-
シリーズ
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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TT301A-RA |
要見積もり | Φ100mm~Φ300mm SEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸: 430mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 330mm | X,Y方向: ±0.1mm (3σ) Z軸: ±0.05mm (3σ) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | RS232C, ETHERNET | 電源: 単相AC200V ~ 230V 7.5A 1系統 真空: -80kPa以下 15L/min以 上1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続) | 本体:約35kg コントローラ (TT301A) : 約10kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
