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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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TT301A-RA |
要見積もり |
Φ100mm~Φ300mm SEMI/JEITA規格品ウェーハ |
R軸: 430mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 330mm |
X,Y方向: ±0.1mm (3σ) Z軸: ±0.05mm (3σ) |
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
RS232C, ETHERNET |
電源: 単相AC200V ~ 230V 7.5A 1系統 真空: -80kPa以下 15L/min以 上1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続) |
本体:約35kg コントローラ (TT301A) : 約10kg |
